微小電子元件測試

一．功能

測量元件高度尺寸

二．方案配置

鐳爍光電激光3D輪廓傳感器 LS-A80007一臺，工控機(jī)一臺，控制器一臺

三．方案實(shí)施

元件放入治具，治具在輪廓儀下方定位，輪廓儀進(jìn)行取像測量

軟件界面：

算法簡述：

首先通過捕捉元件的彎曲點(diǎn)或者邊緣點(diǎn)進(jìn)行定位，然后對輪廓進(jìn)行64次均值平滑濾波和9次中位數(shù)濾波，最后利用高度差計(jì)算需求的元件尺寸。

軟件特點(diǎn)：

元件的特征點(diǎn)：彎曲點(diǎn)或者邊緣點(diǎn)被捕捉到之后界面顯示擺放OK，此時(shí)計(jì)算結(jié)果可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲，如果元件未被放置到位則提示“未識別到元件”，如下圖所示，此時(shí)不會進(jìn)行數(shù)據(jù)保存。大小元件均可直接測量不需要進(jìn)行軟件參數(shù)調(diào)整。數(shù)據(jù)保存以CSV格式，以便用戶以excel打開。

四．精度分析

客戶要求精度在10微米以內(nèi)，動態(tài)實(shí)測重復(fù)精度約為9微米