檢測內(nèi)容:
高度差
檢測設備:
鐳爍光電激光3D輪廓傳感器LS-A80007
主要性能指標:X方向測量范圍0~7mm,Z方向范圍0~5mm,精度±3μm,重復精度1μm。
檢測原理:
利用激光三角反射原理,激光束被放大成一條激光線投射到被測物體表面上,反射光透過高質(zhì)量光學系統(tǒng),投射到成像矩陣上,經(jīng)計算得到傳感器到被測量表面的距離(Z軸)和沿著激光線的位置信息(X軸),移動被測量物體或者輪廓儀探頭,就可以得到一組三維測量值。
初步說明:
重復測量10次:
綜合說明:
1. 高度差1測量在沒有定位治具的情況下取放誤差20微米,預計治具定位后精度在10微米左右
2. 高度差2因為測量區(qū)域過小,直接測量誤差較大,需要特殊算法
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